低温等离子设备技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限；电子束照射技术有一很窄的气体流速范围。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，其应用广泛不言而喻。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成没毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得很快速。作为环境污染处理领域中的一项具有很强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
低温等离子设备去除污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
低温等离子设备可应用在电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理；国防工业的航空航天电连接器表面清洗；通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理等。通过处理，可以使塑料具有阻隔性、金属具备抗腐蚀能力，或者玻璃具备抗脏污能力。素材经过处理以后，涂装或者印刷的品质_，质量更稳定，耐久性更长。低温等离子设备，可以使用户特定的加工过程，成为效率高的、经济的、环保的加工工艺。
